随着我国工业的发展和改革开放的不断深入，主要跨国气体公司都纷纷进入中国，美国空气化工、法国液化空气、德国林德、普莱克斯、日本大阳日酸、日商岩谷气体公司等已占领我国部分特气市场，尤其是电子气体市场，合资和独资的半导体集成电路企业生产工艺中所使用的电子气体被这些国外气体公司所垄断，这与半导体集成电路对气体质量、供应的特殊要求有关。
随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大,线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级,这样,对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高,对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格,已达到ppb、ppt级,尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒,因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。特种气体指出，工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中,重金属微粒向硅的内部侵人扩散,诱发结晶缺陷,是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中,由于微粒附着在硅片处,将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。
热处理工序中,碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常，引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出，由于一旦该气体输送管道发生污染,将很难通过吹扫清除污染物,往往是更换掉被污染的管路,由于该系统造价昂贵,这样造成的损失将很大,因此,超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。
在工业生产环境中会产生有各种各样的可燃气体或有毒气体，所以气体检测报警设备按照要求安装的，气体检测报警设备就是检测到气体浓度达到或报警检测设备设置的临界点时，报警器就会发出报警信号，以提醒工作人员采取措施。
一、气体报警器防爆吗？
工业用固定式气体检测报警器由报警控制器和探测器组成，控制器可放置于值班室内，主要对各监测点进行控制，探测器安装于气体容易泄露的地点及场所，其核心部件为内置的气体传感器，传感器检测空气中气体的浓度。所以，工业气体检测报警设备中的气体探测器是防爆的。
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